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通过蒸发过程将阴材料蒸发是源于高电流密度,得到蒸发物由电子、离子、中心气相原子微粒组成.在阴电弧点,材料几乎被离化,这里离子在几乎垂直于阴表面的方向发射,当带有高能量的铬离子碰到氮气后便会产生化学反应,变成气态氮化铬分子.

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